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該激光鐳射修復機主要應用于MICRO.OLED等顯示面板行業(yè)。由日本HO Y A 系列鐳射系統(tǒng) 、日 本三豐光學影像系統(tǒng)、X/Y/Z 馬達驅動系統(tǒng) 、電 控 系 統(tǒng) 、氣 壓 避 震 系統(tǒng) 、大 理石平臺面及設備安全外罩等組成 ?？?針對制程當中發(fā)光區(qū)域內因異物 、短路 產 生 的 亮 點 、灰 亮 點 、亮線等不良進行鐳射修復。
產品參數：
工作臺尺寸 (mm) | 500*600 |
| 晶圓卡盤尺寸 (mm) | 460 |
| 玻璃臺尺寸 (mm) | 350*450 |
| 運動行程 (mm) | X:420 Y:320 (電動） |
| 調焦行程 (mm) | Z軸140(電動） |
| 主顯微鏡系統(tǒng) | 光學系統(tǒng)：三豐VMU系列鐳射專用光路 金相物鏡：三豐APO長工作距離紅外紫外金相物鏡倍率：5X、10X、20X、50X 激光器：振蕩波長（nm）：1064、532、355最大輸出能量（mJ/puls）：1.2@1064、1.2@532、0.8@355最大峰值功率（MW）：0.17@1064、0.17@532、 0.13@355脈沖寬度（納秒）：8-6@1064、8-6@532、 7-5@355反復振蕩頻率（Hz）： 1～6Hz角型狹縫：電動XY /最大3毫米。輸出變量（％）：0-100% (512段階）最小加工直徑（使用100倍鏡頭時）（μm）：2@1064、1@532@355最大工作直徑（使用10倍鏡頭時）（μm）：300@1064、150（使用20x鏡頭時的加工直徑） @532@355 |
| 示值誤差 | 視場外精度 X/Y≤(3+L/ 200) um Z≤(5+L / 200) um |
| 照明系統(tǒng) | 觀察顯微鏡：LED同軸光及輪廓光 |
| 操作臺 | 功能：啟動/急停/搖桿操作/ 速度調整/破真空/吸附/局部吸附/亮度調節(jié)/倍率切換/ 三軸微調 |
| 驅動系統(tǒng) | X/Z龍門伺服電機驅動 ，Y軸平臺伺服電機驅動 |
| 外形尺寸 (mm)長X寬X高 | 1610*1640*1860 |
| 儀器重量 (kg) | 800 |
| 玻璃臺承重(kg) | 50 |
| 儀器電源 | 220V(AC)5OHZ , 3KW |
| 運行高度 ( mm ) | 1000 |
測量軟體 | 完整的畫面實時二維量測/ 激光調節(jié)/自動保存圖片/錄像功能/實時坐標定位/指定Folder 和Server上保存 Image/支持多款控制器 /支持多款工業(yè)相機/圖像掃描拼接 |
