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產品介紹
mini LED 鐳射修復顯微鏡，適用于Mini 面板顯示行業(yè)的研發(fā)測試系統(tǒng)，包含尺寸測量、面板點亮，鐳射修復等功能 。系統(tǒng)設置雙工位（多工位），可同時測試不同樣品，提升測試效率 。
產品參數(shù)
工作臺尺寸(mm) | L680 x W575 (可定制) |
| 工作臺數(shù)量 | 2 |
| 工作臺材質 | 玻璃 |
| X-Y-Z行程(mm) | XYZ：370x470x150 |
| X-Y軸運動速度(mm) | 0~200/s可調 |
| Z軸運動速度(mm) | 0~100/s 可調 |
| 調焦行程(mm) | 150 |
| 顯微光路 | 三豐APO長焦物鏡： 5X/10X/20NIP/50XNIR/100XNUV |
| 激光系統(tǒng)(nm) | 進口激光器 振蕩波長:1064/532/355 最大輸出能量 (mj/puls): 1.2/1.2/0.8 可加工材質：Cr/AI/ITO/Ni/TFT/RGB/Poly Silicon/Mo/SiN等 激光器冷卻方式：風冷/水冷 |
| 像素(um) | 傳感器：2/3“ IMX264 CMOS 傳感器，全局快門 像元尺寸：3.45 x3.45 分辨率：2448*2048 顏色：彩色 |
| 探針系統(tǒng) | 三邊式探針座支撐臺設計，可支持多達12個探針座同時點針測試 探針座XYZ行程：12x12x12mm，線性移動，移動精度＜1μm 探針座固定方式：磁吸式 探針夾具：同軸/三同軸夾具 搭配探針類型：直流針，探針卡，射頻探針等 電信號測試類型：I-V,C-V,R,脈沖，頻率等測試 |
| 屏幕點燈機 | 探針數(shù)量：45根(可定制) 支持Cell端的點亮測試 |
| 操作軟件 | CD-C |
| 設備隔振 | 氣浮式隔振 |
| 設備外形尺寸(mm) | L*W*H 3300*2200*2650 |
設備總重(kg) | 約7200 |
