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產(chǎn)品中心

當(dāng)前所在的位置:首頁(yè) · 產(chǎn)品中心 · 智能制造 · 晶圓劃片機(jī)

雙軸12英寸全自動(dòng)晶圓劃片機(jī)(自動(dòng)上下料)

1、技術(shù)等級(jí)達(dá)到同類世界最高水準(zhǔn)。
2、設(shè)備所選用的機(jī)械、電氣、水路、氣路等元件是成熟、可靠的產(chǎn)品。設(shè)備技術(shù)先進(jìn),設(shè)計(jì)何理,操作簡(jiǎn)單,易于維護(hù)和維修。
3、本設(shè)備采用先進(jìn)視覺(jué)算法,保證定位及糾偏精度達(dá)到1um,可有效滿足晶圓劃片對(duì)高精度的需求。
4、機(jī)械結(jié)構(gòu)和工作界面根據(jù)世界流行機(jī)器設(shè)計(jì)。
5、進(jìn)口C3級(jí)滾珠絲桿及雷尼紹光柵尺閉環(huán)控制,可達(dá)到世界級(jí)水平。
6、濟(jì)南大理石機(jī)身,永不變形。
7、標(biāo)配:8英寸+12英寸;標(biāo)配自動(dòng)影像識(shí)別功能 、標(biāo)配NCS(非接觸測(cè)高)功能選配BBD(刀破損檢測(cè))功能 、選配刀痕檢測(cè)功能 、選配多工件切割、在線磨刀等。
8、定制化的軟件操作界面,符合客戶操作習(xí)慣。
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  • 產(chǎn)品簡(jiǎn)介
設(shè)備介紹


晶圓劃片機(jī)作為半導(dǎo)體芯片后道工序的核心設(shè)備之一,用于晶圓的劃片、分割或開(kāi)槽等精細(xì)加工。


設(shè)備可用于加工最大邊長(zhǎng)為310 mm的方形工作物(特殊可選配)。


本設(shè)備采用“對(duì)向式雙主軸結(jié)構(gòu)以及雙X軸結(jié)構(gòu)布局”,并且雙軸可同時(shí)加工使用,節(jié)省自動(dòng)上料時(shí)間,提高了生產(chǎn)效率。


本設(shè)備可以選配自動(dòng)上下料。


設(shè)備核心參數(shù)


X軸(切割軸)

切割范圍

≥350mm

工作臺(tái)直線度

0.002mm/305mm

Y(進(jìn)給軸)

切割范圍

≥305mm

分辨率

0.0001mm

定位精度

0.001mm/5mm

0.003mm/305mm

工作臺(tái)直線度

0.002mm/305mm

Z軸

有效行程

35mm

進(jìn)給最小分辨率

0.0001mm

重復(fù)精度

0.001mm

使用最大刀盤(pán)直徑

59mm(2時(shí)硬刀)

T軸(旋轉(zhuǎn)軸)

額定轉(zhuǎn)矩

20N.M

轉(zhuǎn)速

120rpm

分辨率

0.0001°

空氣主軸

轉(zhuǎn)數(shù)范圍

6000-60000rpm

主軸功率

1.8KW(2.4KW可選)

其它參數(shù)

根據(jù)客戶需要訂制