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產(chǎn)品介紹
probet600手動(dòng)探針臺(tái)具有操作便捷，精確度高，結(jié)構(gòu)性能穩(wěn)定等特點(diǎn)，人體工程學(xué)設(shè)計(jì)，同時(shí)支持多功能配置，擁有功能豐富 。
產(chǎn)品參數(shù)：
| 型號(hào)（三種規(guī)格尺寸） | Probet400 | Probet600 | Probet800 | ||
| 外形(mm) | 550長(zhǎng)x600寬x640高 | 580長(zhǎng)x680寬x640高 | 650長(zhǎng)x780寬x750高 | ||
| 重量(kg) | 約70 | 約80 | 約90 | ||
| 電壓 | 220V AC 50~60HZ | ||||
| 樣品臺(tái) | 尺寸（4種規(guī)格） | 4英寸 | 6英寸 | 8英寸 | 12英寸 |
| X-Y行程 | 4英寸x4英寸 | 6英寸x6英寸 | 8英寸x8英寸 | 12英寸x12英寸 | |
| Z軸行程(mm) | 10微調(diào) | ||||
| 移動(dòng)精度(μm) | 10 | ||||
| 樣品固定方式 | 真空吸附 | ||||
| 背電極測(cè)試功能 | 手動(dòng) | ||||
| 針座平臺(tái) | 最多6個(gè)針座 | 最多8個(gè)針座 | 最多10個(gè)針座 | ||
| 光學(xué)特性 | 顯微鏡行程(mm) | X-Y軸行程50.8x50.8Z軸支持微調(diào)50.8 | |||
| 顯微鏡移動(dòng)精度(μm) | 1 | ||||
| 切換鏡頭方式 | 可升級(jí)為氣動(dòng)快速升降 | ||||
| 放大倍數(shù) | 20~2000X | ||||
| 鏡頭規(guī)格 | 目鏡：10X；物鏡：5X,10X,20X,50X,100X(選配) | ||||
| CCD像素 | 50W/200W/500W | ||||
| 點(diǎn)針規(guī)格 | X-Y-Z行程(mm) | 12 x 12 x 12 | |||
| 機(jī)械精度(μm) | 10/2 /0 .7 | ||||
| 漏電精度 | 10pA/100fA(屏蔽箱內(nèi)使用) | ||||
| 接頭形式 | 香蕉頭/鱷魚(yú)夾/同軸/三同軸 | ||||
