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產(chǎn)品中心

當(dāng)前所在的位置：首頁 · 產(chǎn)品中心 · AOI · Mini/micro LED硅基檢測

外觀檢查機(jī)(Mini/Micro LED ）

1、高精度的運(yùn)動(dòng)平臺(tái) ;
2、機(jī)械手自動(dòng)取放料 ;
3、氣浮減震大理石平臺(tái)； 
4、多通道光源供選擇（RGB 軸光、UV環(huán)形光、白色環(huán)形光、背光） ;
5、軟件界面簡潔便于操作 ;
6、自動(dòng)光源點(diǎn)檢、良率實(shí)時(shí)監(jiān)控； 
7、Map 圖顯示，異常圖片縮放； 
8、自研基于AI智能檢測算法，具有通用性、精準(zhǔn)度、使用簡單、高可靠性等優(yōu)勢 ；
9、對(duì)復(fù)雜背景中的微弱缺陷檢測能力有所提高，可以大幅降低漏檢率 ；
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  • 產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品介紹


用于GaN, GaAs LED等化合物硅基晶圓的外觀檢測。


設(shè)備可以檢測的缺陷包括：電極脫落、電極臟污、針痕偏、金屬殘留、背鍍不良、發(fā)光區(qū)臟污、崩角、雙晶、擴(kuò)展條斷、刮傷、圈狀外延缺陷、ESD爆點(diǎn)、電極刮傷、電極黑點(diǎn)異常等。


產(chǎn)品參數(shù)：


項(xiàng)目 

指標(biāo)參數(shù)

LED chip size

LED chip size

1*2mil~100*100mil

光學(xué)配置

檢測相機(jī)

25M 相機(jī)
3X鏡頭

光源

同軸正向光：紅光/藍(lán)光/綠光/白光 四色光
背向光：藍(lán)光
高環(huán)光：白光
低環(huán)光：UV 光源（395nm)

光學(xué)分辨率

1.5um

 

Chuck 盤直徑尺寸

寸子母環(huán)外徑 18.5cm

Chuck 盤及背光均勻性

采用玻璃載臺(tái)；背光亮度提亮，同時(shí)保證邊緣和
中間灰度差異<20；

兼容 6 寸片檢測

可兼容，只需更換 chuck 盤，手臂夾爪

預(yù)留數(shù)據(jù)線接口

用于后續(xù)對(duì)接 MES 系統(tǒng)

 

軟體功能

(1)自動(dòng)臺(tái)檔（2)破片掃描(3)自動(dòng)對(duì)焦
(4)瑕疵圖形輸出（5)自行設(shè)定臺(tái)檔 Bin 值
(6)自行設(shè)定瑕疵分類條件（7）計(jì)算可分選良率功能
(8)預(yù)掃描功能    (9)自動(dòng)轉(zhuǎn)正
(10)支持半導(dǎo)體自動(dòng)化協(xié)議(SECS GEM)預(yù)留與自
動(dòng)化搬運(yùn)設(shè)備的通訊接口
(11)良率卡控功能，低良率復(fù)判功能
(12) 具備工程師異常處理參數(shù)調(diào)整界面