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產(chǎn)品中心

當(dāng)前所在的位置：首頁 · 產(chǎn)品中心 · 微納檢查 · 光學(xué)顯微鏡標(biāo)準(zhǔn)機(jī)系列

半導(dǎo)體檢查金相顯微鏡

1、寬視場(chǎng)鉸鏈?zhǔn)秸袢坑^察筒。
2、大行程移動(dòng)平臺(tái)設(shè)計(jì)：采用6寸平臺(tái)設(shè)計(jì)，行程158×158mm。
3、高精度物鏡轉(zhuǎn)換器：轉(zhuǎn)換器采用精密軸承設(shè)計(jì)，轉(zhuǎn)動(dòng)手感輕巧舒適，重復(fù)定位精度高，物鏡轉(zhuǎn)換后的同心度也得到較好的控制。 
4、安全、穩(wěn)重的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，保證了系統(tǒng)的抗震能力與成像穩(wěn)定性。
5、前置低手位粗微調(diào)同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)。
6、內(nèi)置100-240V寬電壓變壓器。底座內(nèi)部設(shè)計(jì)有風(fēng)循環(huán)散熱系統(tǒng)，長(zhǎng)時(shí)間使用也不會(huì)使機(jī)架過熱。
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產(chǎn)品介紹：


INTJ-51A系列顯微鏡的各項(xiàng)操作根據(jù)人機(jī)工程學(xué)設(shè)計(jì)，最大限度減輕操作者的使用疲勞。其模塊化的部件設(shè)計(jì)，可對(duì)系統(tǒng)功能進(jìn)行自由組合。涵蓋明場(chǎng)、暗場(chǎng)、斜照明、偏光、DIC微分干涉等多種觀察功能。


適用于晶圓或FPD檢測(cè)，也可用于小尺寸樣品的陣列檢測(cè)?？筛鶕?jù)實(shí)際應(yīng)用，進(jìn)行功能選擇。


技術(shù)參數(shù)：


光學(xué)系統(tǒng)無限遠(yuǎn)色差校正光學(xué)系統(tǒng)
觀察方式明場(chǎng)/暗場(chǎng)/偏光/DIC
觀察筒寬視場(chǎng)鉸鏈?zhǔn)秸袢坑^察筒,0-35°傾角可調(diào)，
瞳距調(diào)節(jié) ：50-76mm，分光比 100:0 或 0:100
目鏡無限遠(yuǎn)明暗場(chǎng)半復(fù)消金相 DIC 物鏡
5X、10X、20X、50X 、100X
轉(zhuǎn)換器明暗場(chǎng)六孔電動(dòng)轉(zhuǎn)換器，帶 DIC 插槽
機(jī)架組1、反射式機(jī)架，前置低手位粗微同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)。粗調(diào)行程35mm，微調(diào)精度0.001mm。帶有防止下滑的調(diào)節(jié)松緊裝置和隨機(jī)上限位裝置。內(nèi)置 100-240V 寬電壓系統(tǒng)
2、透反機(jī)架，前置低手位粗微同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)。粗調(diào)行程 35mm，微調(diào)精度 0.001mm。帶有防止下滑的調(diào)節(jié)松緊裝置和隨機(jī)上限位裝置。內(nèi)置 100-240V 寬電壓系統(tǒng)
載物臺(tái)右手位 14×12 英寸三層機(jī)械移動(dòng)平臺(tái)，低手位 X、Y 方向同軸調(diào)節(jié) ；平臺(tái)面積 718mmX420mm，
移動(dòng)范圍 ：356mmX305mm
帶離合器手柄，可用于全行程范圍內(nèi)快速移動(dòng) ；玻璃載物臺(tái)板 ( 反射用）
電動(dòng)平臺(tái)面積 495mmX641mm，移動(dòng)范圍 ：306mmX306mm ；軟件控制 X、Y 移動(dòng)，重復(fù)定位精度，（3+L/50）μm 帶平板平臺(tái)
照明系統(tǒng)明暗場(chǎng)反射照明器 , 帶可變電動(dòng)孔徑光闌，視場(chǎng)光闌 , 中心均可調(diào) ；帶明暗場(chǎng)照明切換裝置 ；帶濾色片插槽與偏光裝置插槽
攝影攝像附件0.5X/0.65X/1X 攝像接筒，C 型接口，可調(diào)焦
其他起偏鏡插板，固定式檢偏鏡插板，反射用干涉濾色片組 ；高精度測(cè)微尺 ；DIC 組件