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產(chǎn)品特性

1、單筒顯微鏡  

組合式搭配設(shè)計，0.7-4.5倍光學(xué)放大，高分辨率、 高對比度成像； 連續(xù)自動變倍 重復(fù)定位精度可達(dá)2um ，變倍過程順暢平穩(wěn)，中心偏移量極小；適用于高反射產(chǎn)品，如：玻璃、晶圓。

2、白光源 

100~20000 nit 隨意可調(diào) 均勻性：≤95% 。底光源采用多波段LED光源

3、大樣品臺，臺面尺寸500mm*300mm ，平整度150um。

4、探針卡支持分開獨(dú)立運(yùn)動控制，方便針卡點(diǎn)針對位

5、樣品真空吸附分區(qū)控制， 根據(jù)需要選擇吸附區(qū)域。

6、V3 

高精密測試探針座

專用于IV/CV探測和失效分析

7、 超高精度絲桿傳動、高精度交叉滾柱導(dǎo)軌、定位精準(zhǔn)。

關(guān)鍵參數(shù) 

規(guī)格尺寸：≤長2100mm*寬1500mm*高2100mm 

Worktable尺寸：長500mm*寬300mm 

X-Y-Z移動精度±2um 運(yùn)動行程:650mm*400mm*200mm 

雷尼紹光姍尺精度0.1um 

探針對位和接觸精度： X/Y/Z≤±1um 

頂光源規(guī)格 Size:φ10mm,亮度100~20000nit 

頂光源類型LED光源，White Light 白光 

底光源規(guī)格 Size:φ5mm, 

底光源類型LED光源（400nm/450nm/500nm/ 

550nm/600nm/650nm/700nm/880nm） 

Φ30mm chuck 溫度范圍：-20℃~120℃ 控溫精度：±2℃ 

探針座 8PCS，X-Y-Z軸行程：12mm*12mm*12mm 

精度： 0.3um     三同軸探針夾具，針尖直徑可選 

氣浮隔振動，大理石平臺 

總重約:4.5t

設(shè)備基本參數(shù)