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產(chǎn)品中心

當(dāng)前所在的位置:首頁 · 產(chǎn)品中心 · 微納檢查 · 顯微鏡檢查機(jī)系列

全自動(dòng)超大型測量顯微鏡

1、符合人機(jī)工程學(xué)設(shè)計(jì)準(zhǔn)則方便操作測量
2、可實(shí)現(xiàn) Z 軸自動(dòng)對焦
3、具有偏光和 DIC 檢測功能
4、同軸光 / 底光測量
5、 采用主動(dòng)式減震裝置,提高整機(jī)精度穩(wěn)定性
6、自主開發(fā) CD 系列軟件,高清彩色攝像機(jī)
7、采用 NIKON 或者 OLYMPUS 高解析度光學(xué)系統(tǒng) 花崗巖基座平臺
8、 清晰逼真的觀測效果強(qiáng)大的點(diǎn)、線、弧量測功能 同軸光 / 底光
9、龍門式結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)可依據(jù)客戶要求設(shè)計(jì)尺寸
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  • 產(chǎn)品簡介


產(chǎn)品介紹


該光學(xué)顯微鏡檢查設(shè)備主要應(yīng)用于LCD 、PDP 、PCB等相關(guān)光電產(chǎn)業(yè),為其研發(fā)、品質(zhì)管控與不良分析提供必需的檢測設(shè)備 ??蓪?yīng)觀察OLB壓接粒子分布、LCD面板異物/劃傷等不良,以及導(dǎo)電粒子粒徑測量等功能。


該產(chǎn)品的測量軟件高度集成了測量、缺陷分析、多軸運(yùn)動(dòng)速度控制、以及光學(xué)系統(tǒng)調(diào)節(jié)功能(光源調(diào)節(jié)、倍率調(diào)節(jié)、焦距自動(dòng)調(diào)節(jié)等功能),與同行業(yè)軟件相比具有高度集成、自動(dòng)控制、人性化操作等方面的優(yōu)勢。


產(chǎn)品參數(shù):


工作臺尺寸7585110

玻璃臺尺寸(mm)

2090*1610
2480*1780

2880*2260

運(yùn)動(dòng)行程(mm)

X:1820 Y:1220

X:2240 Y:1240 Z:150

X:2630 Y:1720 Z:200

調(diào)焦行程(mm)

Z:150
Z:150

Z:200

主顯微鏡系統(tǒng)
(Nikon or Olympus)

三目觀察筒
目鏡:10倍
物鏡:2.5X、5X(BD)、10X(BD)、20X(BD)、50X(BD)觀察模式:反射、透射、偏光、明場、暗場、DIC
5孔電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換鏡


示值誤差

視視場內(nèi):2μm;場外精度X/Y≤(3+L/200)μm,
Z≤(5+L/200)μm


照明系統(tǒng)

鹵素?zé)舯砻婀釲ED


操作臺
定制型操作臺
功能:啟動(dòng)/急停/搖桿操作/速度調(diào)整/
電腦開關(guān)/破真空/倍率切換/三軸微調(diào)/電動(dòng)偏光/電動(dòng)DIC
驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)
X/Y龍門直線電機(jī)雙驅(qū),Z軸伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)
工業(yè)相機(jī)
傳感器類型:CMOS,全局快門
傳感器型號:IMX264
像元尺寸:3 . 45μmX 3 . 45 μm
靶面尺寸:2/3”
分辨率:2448*2048
幀率:23.27fps
動(dòng)態(tài)范圍:72dB
信噪比:40.2dB
黑白/彩色:彩色
外形尺寸(mm)
長X寬X高
4500*2500*1500
儀器重量(kg)
8300
玻璃臺承重(kg)
30
儀器電源
220V(AC) ±10% 50HZ
運(yùn)行高度(mm)950
測量軟體完整的畫面實(shí)時(shí)二維量測/自動(dòng)保存圖片/錄像功能/
實(shí)時(shí)坐標(biāo)定位/指定的Folder和Server上保存Image
支持多款控制器/支持多款工業(yè)相機(jī)/圖像掃描拼接