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產(chǎn)品介紹：
該顯微鏡檢測(cè)設(shè)備主要應(yīng)用于O L E D 、AMO LED 、L CD 、PDP 、PCB等相關(guān)光電產(chǎn)業(yè)，為其研發(fā)、品質(zhì)管控與不良分析提供必需的檢測(cè)設(shè)備 。可對(duì)應(yīng)測(cè)量微小輪廓高度，觀察OLB壓接 粒子分布、異物／劃傷等不良，以及導(dǎo)電粒子粒徑測(cè)量等功能。
該設(shè)備的測(cè)量軟件高度集成了測(cè)量、缺陷分析，多軸運(yùn)動(dòng)速度控制，以及光學(xué)系統(tǒng)調(diào)節(jié)功 能（ 光源調(diào)節(jié) 、倍 率調(diào)節(jié) 、焦距自動(dòng)調(diào)節(jié)等功能），與同行業(yè)軟件相比具有高度集成、自動(dòng)控制、人性化 操作等方面的優(yōu)勢(shì)。
產(chǎn)品參數(shù)：
工作臺(tái)尺寸 (mm) | 1280*1540 |
玻璃臺(tái)尺寸 (mm) | 1260*1460 |
運(yùn)動(dòng)行程 (mm) | X:1200 Y:800 (電動(dòng)） |
調(diào)焦行程 (mm) | Z軸150(電動(dòng)） |
主顯微鏡系統(tǒng) | 反射式共焦激光掃描顯微鏡激光：光電倍增管（2通道） 彩色：CMOS彩色相機(jī) |
示值誤差(um) | 視場(chǎng)外精度 X/Y小于等于(3+L/200), Z小于等于(5+L/200) |
照明系統(tǒng) | 觀察顯微鏡：LED表面光及輪廓光 |
操作臺(tái) | 功能：?jiǎn)?dòng)/急停/搖桿操作/ 速度調(diào)整//破真空/ |
驅(qū)動(dòng)系統(tǒng) | X/Y龍門(mén)直線電機(jī)雙驅(qū) ，Z 軸伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng) |
外形尺寸 (mm) | 2210*2150*2030 |
儀器重量 (kg) | 4500 |
玻璃臺(tái)承重(kg) | 20 |
儀器電源 | 220V(AC) ±10% 50HZ |
運(yùn)行高度 ( mm ) | 1000 |
測(cè)量軟體 | 3D高度測(cè)量/完整的畫(huà)面實(shí)時(shí)二維量測(cè)/ 自動(dòng)保存圖片/ 錄像功能/實(shí)時(shí)坐標(biāo)定位/指定Folder 和Server 上保存 Image /支持多款控制器/ 支持多款工業(yè)相機(jī)/圖像掃描拼接 |
